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Cassification
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产品型号：厂商性质：代理商更新时间：2025-11-10访 问 量：26
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ES660系列ESD和LU测试系统是的多引脚自动化测试设备，旨在满足现代半导体测试的严格要求。这种多功能设备旨在无缝支持人体模型（HBM）、机器模型（MM）和闩锁测试，为评估集成电路（IC）和电子元件的可靠性和稳健性提供全面的解决方案。
ES660-P1可支持1024个引脚，是测试具有多种连接的复杂IC和电子元件的理想选择。其高引脚计数能力确保了能够准确高效地评估大型设备，减少了测试时间并提高了生产力。
为了获得更高的引脚数，ES660-P2型号（2048个引脚）已列入开发路线图。
特点
与多种测试方法和标准的兼容性
高度灵活的偏置和引脚计数配置能力
自动化测试效率
高级控制和监控
泄漏和直流扫描
数据分析
应用程序
半导体器件ESD测试
HBM模块符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883E、AEC Q100-002
MM模块符合ANSI/ESDA SP5.2
闩锁选项符合JEDEC JESD78
ANSI/ESD SP5.4.1的瞬态锁存挂起
1.简介
ES660系列ESD和LU测试系统是的多引脚自动化测试设备，旨在满足现代半导体测试的严格要求。这种多功能设备旨在无缝支持人体模型（HBM）、机器模型（MM）和闩锁测试，为评估集成电路（IC）和电子元件的可靠性和稳健性提供全面的解决方案。
ES660-P1可支持1024个引脚，是测试具有多种连接的复杂IC和电子元件的理想选择。其高引脚计数能力确保了能够准确高效地评估大型设备，减少了测试时间并提高了生产力。
为了获得更高的引脚数，ES660-P2型号（2048个引脚）已列入开发路线图。
2.特点
与多种测试方法和标准的兼容性
高度灵活的偏置和引脚计数配置能力
自动化测试效率
高级控制和监控
泄漏和直流扫描
数据分析
3.应用
半导体器件ESD测试
HBM模块符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883E、AEC Q100-002
MM模块符合ANSI/ESDA SP5.2
闩锁与JEDEC JESD78相遇
ANSI/ESD SP5.4.1-2022的瞬态锁存挂起
| Parameters | ES660-P1 | Unit | Comments |
| Touch Screen | 5 | inch | |
| Dimensions | 480 X 497.5 X 265 | mm | |
| Weight | 28 | kg | Full installation |
| ESD and LU Waveform | Optional Passive voltage and current probes | ||
| Supported Oscilloscope | Majority models from Keysight, Tektronix, LeCroy, Rigol, | Customizable | |
| Supported SMU | Majority models from Keysight, Tektronix, LeCroy, Rigol, | Customizable | |
| Supported PSU | Majority models from Keysight, Tektronix, LeCroy, Rigol. | Customizable |
| Parameters | ES660-P1-HBM8 | ES660-P1-HBM10 | Unit | Comments |
| Output voltage | ±10 ~ 8000 | ±10 ~ 10000 | V | |
| Discharge RC Value | C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1% | |||
| Short Load Peak Current Ips | 0.67 ± 10 % per kV | A | ||
| Short Load Rise Time trs | 2 <>rs <> | ns | ||
| Short Load Decay Time tds | 130 <>ds <> | ns | ||
| Short Load Ringing trs | < 15%="" of="">ps | |||
| 500 Ω Load Peak Current Ipr | Ipr/Ips ≥ 63% | |||
| 500 Ω Load Rise Time trr | 5 <>rr <> | ns | ||
| Parameters | ES660-P1-MM2 | ES660-P1-MM4 | Unit | Comments |
| Output Voltage | ±10 ~ 2000 | ±10 ~ 4000 | V | |
| Discharge RC Value | C: 200 pF, R: 0 Ω | |||
| Short Load Peak Current Ip1 | 1.75±10% per 100V | A | ||
| Short Load Ip2 | 67% ~ 90% of Ip1 | A | ||
| Short Load Pulse Period tpm | 66 <>pm <> | ns | ||
| 500 Ω Load Peak Current Ipr | 0.85 – 1.2 | A | @400V condition per standard | |
| 500 Ω Load I100 | 0.23 – 0.4 | A | @400V condition per standard | |
| Parameters | ES660-P1-LU | Comments |
| Preconditioning Vectors | ≥ 20 MHz, 256K Depth | External Setup |
| V/I 4-wire Kelvin Measurements | Y | |
| DUT V/I Bus Supplies | 3+1, 5+1, 7+1 | |
| LU Waveform Capture | Y |
Hardware-supported for Latch-Up Transient Pulse Source:
TLP, vf-TLP, EOS, MM
software on the roadmap.
| Line | Part # or Option # | Description |
| Base Unit Options | ||
| 1.1 | ES660-P1-BU | Relay Based HBM/MM/LU ATE System Base unit |
| 1.2 | ES660-P1-HBM8 | Human Body Model capability up to 8 kV |
| 1.3 | ES660-P1-HBM10 | Human Body Model capability up to 10 kV |
| 1.4 | ES660-P1-MM2 | Machine Model capability up to 2 kV |
| 1.5 | ES660-P1-MM4 | Machine Model capability up to 4 kV |
| 1.6 | ES660-P1-LU | Latch-up capability (Software) |
| 1.7 | ES660-P1-TLU | Transient Latch-up capability (Software) |
| Relay Card with Bias Options | ||
| 2.1 | ES660-P1-R64B4 | Expansion Relay Card for additional 64 Pin, 4 Bias |
| 2.2 | ES660-P1-R64B6 | Expansion Relay Card for additional 64 Pin, 6 Bias |
| 2.3 | ES660-P1-R64B8 | Expansion Relay Card for additional 64 Pin, 8 Bias |
| DC & Leakage & LU Pulse Source Options | ||
| 3.1 | ES660-PSMU2 | LeakageDCLU Source: Dual Channels Pulsed SMU (210V/1.5A) |
| 3.2 | ES660-SMU1 | LeakageDC Source: Single Channel SMU (200V/1A) |
| 3.3 | ES660-PSU1 | DC Source: Flex Channels PSU (30V/3A X 2 Ch, or 60V/3A X 1 Ch) |
| 3.4 | ES660-PSU2 | DC Source: 3-Channels PSU (60V/3A X 2 Ch, 5V/3A X 1 Ch) |
| 3.4 | ES660-PSU3 | DC Source: High Current PSU (20V/20A X 1 Ch) |
| Test Socket Options | ||
| 4.1 | ES660-P1-DS512 | DUT Socket PCB 512 Pin |
| 4.2 | ES660-P1-DS1024 | DUT Socket PCB 1024 Pin |
| 4.3 | ES660-P1-DSC1 | DUT Socket PCB Customized Pin Count |
| Oscilloscope Options | ||
| 5.1 | MISC-OSC1 | Digital Oscilloscope (1 GHz, 5 GS/s, 4 Ch) |
| 5.2 | CT-T03-1p0 | Broadbａnd Current Probe, 1V/A, 2kHz – 2GHz |
联系电话：18573116298
联系邮箱：billion.xiao@glb-et.com
公司地址：湖南省长沙市天心区城南路街道芙蓉路与城南路交汇处西北角905房
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