ES62x-SSM (ES62X-LTKSEM、A621-LTKSEM)系统开关模块用于TLP脉冲IV曲线测试与DC特性测试的自动切换。当开关处于常闭状态时，TLP脉冲注入到DUT端，IV曲线测试系统采集DUT的脉冲IV曲线，同时，电压测量分压探头连接至示波器，获取DUT端的电压波形。当开关处于常开状态时，DUT连接至源测量单元（Source Measurement Unit, SMU)，电压分压探头处于开路状态，因此不提供SMU测量时的任何其他回路路径。ES62x-SSM自身的摩擦带电量很低，因此适用于极敏感低压（几伏甚至更低）器件，例如CMOS或MMIC工艺技术。特性为高性能VF-TLP/TLP/HMM 系统设计低摩擦带电 (几伏甚至更低 )DC-18 GHz 带宽2个同步切换的SPDT通道6个SMA接口LED开关切换指示可用于高达3 kV/120 A 1000 ns TLP系统高可靠性开关寿命超过 1百万次分类： 脉冲IV曲线测试方案标签： DC测量, ESD测试, TLP测试

描述

 1.    介绍

ES62x-SSM (ES62X-LTKSEM、A621-LTKSEM) 系统开关模块 用于TLP脉冲IV曲线测试与DC特性测试的自动切换。当开关处于常闭状态时，TLP脉冲注入到DUT端，IV曲线测试系统采集DUT的脉冲IV曲线，同时，电压测量分压探头连接至示波器，获取DUT端的电压波形。当开关处于常开状态时，DUT连接至源测量单元（Source Measurement Unit, SMU)，电压分压探头处于开路状态，因此不提供SMU测量时的任何其他回路路径。ES62x-SSM自身的摩擦带电量很低，因此适用于极敏感低压（几伏甚至更低）器件，例如CMOS或MMIC工艺技术。

2.    特性

• 为高性能VF-TLP/TLP/HMM 系统设计
• 低摩擦带电 (几伏甚至更低 )
• DC-18 GHz 带宽
• 2个同步切换的SPDT通道
• 6个SMA接口
• LED开关切换指示
• 可用于高达3 kV/120 A 1000 ns TLP系统
• 高可靠性开关寿命超过 1百万次

3.    应用

• 通用型测试系统开关模块

4.    规格

注: 在高频测试中，例如TLP, vf-TLP, HMM, HBM, 低压浪涌测试中，建议在DUT的回路上增加共模抑制器。应根据实际的测试设置和注入脉冲的形状选择恰当的共模抑制器结构。

5.    订购信息

6.  相关/可选 漏电测试装置