带电器件模型 (CDM) 静电放电是微电子电路故障的常见原因。在相对较低的电压下，CDM 放电会严重损坏或毁坏敏感设备。当带静电的设备接触不同电位的金属表面时，通常会发生这种情况。这种静电放电通常具有极快的上升时间。ES640 型是机器人 CDM（充电设备模型）测试仪，旨在满足所有流行的 CDM ESD 测试方法，允许使用场感应空气放电方法 (FICDM) 和基于继电器的接触放电方法（LI-CCDM、CC-TLP、RP- CCDM）。该系统包括计算机、环境控制室、精密XYZ运动系统、不同类型的CDM测试仪模块以及自动化测试和数据分析软件。特征高分辨率相机（最多 3 个）允许轻松进行引脚对齐操作高分辨率运动控制系统（低至 1 µm 步长）允许批量测试多个设备正在申请的 CCDM 方法可实现更好的可重复性密闭环境室提高干燥装置效率支持蓄热式干燥装置（无需氮气）

一、介绍

带电器件模型 (CDM) 静电放电是微电子电路故障的常见原因。在相对较低的电压下，CDM 放电会严重损坏或毁坏敏感设备。当带静电的设备接触不同电位的金属表面时，通常会发生这种情况。这种静电放电通常具有极快的上升时间。

ES640 型是机器人 CDM（充电设备模型）测试仪，旨在满足所有流行的 CDM ESD 测试方法，允许使用场感应空气放电方法 (FICDM) 和基于继电器的接触放电方法（LI-CCDM、CC-TLP、RP- CCDM）。该系统包括计算机、环境控制室、精密XYZ运动系统、不同类型的CDM测试仪模块以及自动化测试和数据分析软件。

以下是 ESDEMC ES640 CDM 解决方案与其他产品的比较，包括Thermo Scientific Orion3 CDM 测试仪、GTS Scorpion Robotic CDM 测试仪、Hanwa HED-C5000R、TET Model 1100、Fraunhofer EMFT MCDM3。

2. 特点

高分辨率相机（最多 3 个）允许轻松进行引脚对齐操作

高分辨率运动控制系统（低至 1 µm 步长）

允许批量测试多个设备

正在申请的 CCDM 方法可实现更好的可重复性

密闭环境室提高干燥装置效率

支持蓄热式干燥装置（无需氮气）

3. 应用

用于封装和晶圆级测试的通用带电器件模型 (CDM) 系统

支持多种流行的CDM方法：

ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018 (FICDM)

AEC Q100-011 Rev-D (2019 Ver. 遵循JS-002)

AEC Q101-005 Rev-A (2019 Ver.依附JS-002)

ANSI/ESD SP5.3.3-2018（需要LI-CCDM、vf-TLP）

CC-TLP（ESDA SP 待定，需要 vf-TLP）

正在申请的 RP-CCDM 方法

可应要求提供传统和定制解决方案

机器人 CBM（带电板模型）和平板 ESD 测试的可定制尺寸

4. 规格