噪声测试系统981X系列是全球半导体行业低频噪声测试的“黄金标准"。最新型号9813DXC为半导体行业先进工艺研发、器件建模和电路设计提供了更加完整而又高效的低频噪声测试及分析解决方案，可以满足各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路低频噪声测试的需求。

9813DXC作为单一完整的低频噪声测试系统，适用于多种半导体器件类型在各种工作条件下(如200V高压、10pA极低电流等)的高精度、带宽噪声测试，支持晶圆级噪声测试精度和测试带宽，测试噪声电流精度低至10"A2/Hz。其测试应用广泛，是市面少有可同时覆盖10Q到10MO高阻抗器件和低阻抗器件测试的设备

针对半导体先进工艺制程节点特别是FinFET工艺下对低频噪声测试需求“爆炸式"增长的挑战，9813DXC通过软硬件创新设计，不仅将典型噪声测试速度提高至一个偏置条件下仅需20s，还将最高测试电压提高到200V从而使应用场景更加广泛。该系统可在短时间内获得更加精确可信的测试数据，另外还可以通过并行测试架构解决方案以及协同FS-Pro半导体参数测试系统等方式大幅度提高测试效率和吞吐量。

（一）   产品应用

*先进半导体制造工艺如FinFET/FD-S0I/GaN等研发过程中的质量和工艺评估

*芯片制造过程中的特定工艺品质监控

*半导体器件和电路的低频噪声特性测试、噪声数据分析

*半导体器件SPICE模型库开发

*手机安装简便，安装后特性变化极小

（二）   产品优势

*应用范围：

支持MOSFET, SOI, FinFET, TFT, HV/LDMOS, BJT/HBT, JFET,Diode, Resistor, Packaged IC 等器件类型·针对任意待测类型均可实现晶圆级高精度和宽带宽测试宽电压、宽电流、宽阻抗测量范围

*功能：

1/f噪声测试与特性分析

RTN测试与特性分析

*系统架构：

硬件架构全新升级，提升系统集成性配置触摸屏，直观显示，易于操作

（三）    硬件规格

宽量程：最大SMU输入电压和输入电流:200V和200mA

高精度：最高DC电流精度:10pA系统噪声电流分辨率:<102A2/Hz

测试速度：典型1/f噪声测试速度为20/bias

抗阻范围：阻抗匹配范围:10Q-10MQ

Gate/Base电阻多达16个选择

Drain/Collector 电阻多达15个选择

系统参数：电压放大器：0.03-10MHz,0.65nV/Hz（@5kHz）

电流放大器：0.03-1MHz,0.7pA/Hz（@5kHz）

宽带电流放大器：0.03-10MHz,5pA/Hz（@5KHz）

高精度电流放大器：0.03-20KHz,60fA/Hz（@5KHz）

内置16位DSA

可编程偏置滤波器、ESD保护

支持多台并行测试

（四）   软件规格：支持串扰消除测试

9813DXC内置Noise ProPlus测量软件具有低频噪声测试和分析功能，该软件具有下列主要功能：

*软件界面友好易操作，同时满足测试控制、图形显示和数据分析需求

*支持1/f噪声和RTN噪声测试，具有专业的数据分析功能

*测试结果可导出供用户后续分析研究，测试数据可直接导入建模软件BSIMProPlus和MeQLab进行噪声模型提取和特性分析

*支持驱动Keysight/Keithley等主流测试仪

*支持多种模式、多种器件在不同偏置下的手动/自动测试

*支持驱动Cascade/SUSS/MPI等Prober实现手动/半自动/全自动测试

（五）   应用案例

1/f 噪声，Drain 端电流功率谱

RTN 噪声测试

BJT 1/f 噪声测试

1/f 噪声测试，电压功率谱